2010/03/01

Yeedex発表日本セラテックのゼロ膨張高剛性セラミックスZPFの応用。セラミックスの高剛性を保ちながら、超低膨張性の再結晶ガラスと同等のゼロ膨張を実現した画期的な材料です。応用は半導体製造露光装置用のチャックなどです。

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